臭氧發生器的放電原理，又稱三重氧，分子式O3，分子量48.00，是氧的同素異形體，由三個氧原子組成，廣泛存在于自然界。雷雨過后，空氣有一種“清新”的感覺，就是閃電對空氣產生臭氧。在常溫常壓下，臭氧是一種不穩定的淡藍色氣體，具有特殊的刺激性氣味。當分子結構在常溫常壓下發生變化并自行分解為氧（O2）和單原子氧（O）時，臭氧具有很強的氧化性能，在堿性溶液中氧化電位為2.07V，僅次于氟，高于氯和高錳酸鉀鉀。臭氧氧化能力強，半衰期為17-23分鐘，能在水中快速分解，無二次污染，是一種理想的綠色氧化劑。臭氧氧化技術已經逐漸發展成為一種高級氧化工藝，對有機物的除臭、脫色、滅菌和去除具有快速、環保、安全的效果。

利用高壓放電原理，臭氧發生器可以將氧氣轉化為臭氧。高壓交流電施加到高壓電極上，高壓電極中間有隔熱層和一定間隙。通過干燥的空氣或氧氣。當高壓交流電流達到10-15KV時，產生紫色輝光放電[電暈]，使空氣中的氧分子或原子氧化成臭氧。在電源電壓和電流的作用下，臭氧的形成發生變化。當臭氧發生器的放電原理開始工作時，無油空氣壓縮機中的空氣被壓入臭氧發生器的冷卻器和儲氣罐中，空氣通過無熱再生干燥裝置和流量計控制其氣體流量和速度進入臭氧發生器。此時，臭氧發生器中的調壓器調節變壓器將壓力提高到12000V左右，操作者可以通過觀察鏡觀察臭氧的產生和輝光放電。變頻器繼續逐漸升壓到15000V左右，穩定到穩定狀態，操作人員觀察到各儀表運行到穩定狀態。