生活飲用水處理用臭氧發生器采用臭氧和氧氣的沸點差法，通過分級液化可以得到濃縮的臭氧。雙原子氧通過電子輻射或暴露在紫外線輻射下自然產生臭氧。

臭氧氣體的產生方法主要有電暈、電解、紫外線、核輻射、等離子體等。臭氧發生技術已經在食品、醫院、醫藥企業投入使用，主要有電暈放電法和電解法。生活飲用水處理用臭氧發生器一般是通過靜電放電的方式從氧氣或空氣中產生臭氧，臭氧發生器就是根據這個原理制造的。利用臭氧和氧氣沸點的差值法，通過分餾液化可以得到濃縮臭氧。雙原子氧通過電子輻射或暴露在紫外線輻射下自然產生臭氧。工業上用空氣或氧氣干燥，無聲放電，交流電壓5~25kV制成。此外，臭氧也可以通過低溫電解稀硫酸或加熱液氧獲得。該產品與空氣式臭氧發生器的區別在于，它一般采用封閉式結構，臭氧發生濃度高。臭氧產生后，通過氣水混合裝置，通過管道將臭氧溶解在水中使用。由于臭氧的產生條件和部件的使用壽命要求，一般采用空氣源干燥系統，這樣可以對空氣進行預處理或使用高濃度氧源，這主要是因為臭氧的產生與空氣干燥性能密切相關。

就飲用水處理而言，臭氧發生器在生活飲用水處理中的應用主要有三種：①臭氧作為飲用水的消毒劑，在歐洲應用廣泛，但經過臭氧消毒后，仍需要在管網前端添加氯氣，以穩定管網系統的水質。②在混凝沉淀池前加入臭氧作為給水預處理，可以去除色度和異味，提高絮凝過濾效果，替代氯氣，有效減少鹵代烴消毒副產物的產生。對于飲用水的深度處理，臭氧和顆粒活性炭往往形成臭氧生物活性炭工藝。通過臭氧氧化、活性炭吸附和微生物降解，出水水質得到有效改善。臭氧和各種技術的結合已經廣泛應用于污水處理，如臭氧紫外光、臭氧過氧化物、臭氧催化氧化等。