臭氧有很強的氧化能力，可以氧化多種化合物。在水處理中得到了廣泛的應用。臭氧化技術(shù)不僅具有良好的快速滅菌消毒性能，而且具有很高的氧化有機物和無機物的氧化能力，可以去除其它水處理技術(shù)中難以去除的物質(zhì)。臭氧反應快，可減少結(jié)構(gòu)體積。臭氧過多可迅速轉(zhuǎn)化為氧，增加水中溶解氧，效率高，無污泥，無二次污染，綠色環(huán)保。在提高凈化效果、滅菌消毒的同時，還能去除臭味和異味。一體式水廠設(shè)備臭氧發(fā)生器制備臭氧的電氣和空氣不需要儲存和運輸，占地面積小，操作管理簡單，特別適合改善原水廠的水質(zhì)和水量。

由于一體式水廠設(shè)備臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧具有氧化性強、滅菌消毒能力強、除臭除異味功能難以替代的特點，多數(shù)情況下，廢水深度處理需要臭氧技術(shù)，以達到更好的處理效果。廢水深度處理時，臭氧可用于去除化學需氧量和生化需氧量，破壞有害化學物質(zhì)。臭氧及其產(chǎn)生的活性OH自由基破壞污水中發(fā)色基團的不飽和鍵，產(chǎn)生小分子酸醛，產(chǎn)生低分子有機物，大大降低水體的色度。廢水中存在的金屬離子可氧化成不溶于水的化合物沉淀，有利于絮凝，改善沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環(huán)水中的化學需氧量和二氧化碳（可吸收有機鹵化物）的數(shù)量控制在非常低的水平，達到水質(zhì)比較好的目的。