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氧氣源臭氧發生器消毒機具有消毒能力強、無殘留污染的優點。氧氣源臭氧發生器的臭氧濃度大大提高，綜合成本大大降低。

自來水廠臭氧消毒器是產生臭氧氣體（O3）的裝置，在飲用水、污水、工業氧化、食品加工和保鮮、藥物合成、消毒滅菌等領域都可以使用，設備也可以與液體混合使用。

電解水處理臭氧發生器工作原理：臭氧（O3）的強氧化性僅次于氟（F2），滅菌效果強于氯。其滅菌機理是通過氧化破壞微生物膜結構實現滅菌。